| 保护结构 | D5A-1□、D5A-2□ ：IP40、左边以外 ：IP67 |
| 重复精度 ＊1 | 1μm以下（M5（D5A-1□□□系列）M8、细长型） |
| 3μm以下（M5（D5A-2□□□系列）M16、限位型） |
| 寿命 | 机械 | 1,000万次以上 |
| 电气 | 100万次以上（AC24V 10mA 阻性负载） |
| 电气寿命 100万次后的偏差 | 10μm以下（M5、M8、M16、细长型） |
| 20μm以下（限位型） |
| 容许操作速度 | 1μm～0.5m/s |
| 额定频率 | 50/60Hz |
| 绝缘电阻 | 各端子与地线之间100MΩ以上（DC250V兆欧表） |
| 接触电阻 (初期值) | 带1m软线:800mΩ以下 带3m软线:2.4Ω以下 带5m软线:4Ω以下 |
| 耐压 | 各端子与地线之间AC1,000V(50/60Hz 1min) |
| 振动 | 误动作 | 10～55Hz 双振幅1.5mm |
| 冲击 | 耐久 | 1,000m/s2以上 |
| 误动作 ＊4 | 300m/s2以上 |
| 冲击 ＊3 | ±20×10-6/℃以下（M5、M8、细长型） ±40×10-6/℃以下(M16) ±50×10-6/℃以下（限位型） |
| 使用环境湿度 | -20～+75℃（不结冰） |
| 使用环境温度 | 30～85%RH（带密封橡胶时为30～95%RH） |
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