薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。 额定值 / 规格
| 项目 型号 | EE- SPY801/802 | 检测距离
(标准检测物体) | 0～5mm （反射率90% 白色纸15×15mm2 ）
0～3mm （反射率10% 黑色纸15×15mm2 ） | | 检测物体 | 晶圆片拖架（透明体·不透明体） | | 动作显示灯 | 物体检测时灯亮（橙色） | | 光源(发光波长) | GaAs红外发光二极管(940nm) | | 电源电压 | DC12～24V±10% 脉动(p-p)5%以下 | | 消耗电流 | 30mA以下 | | 控制输出 | NPN型：集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下
残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时)
残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时) | | 应答时间 | 5ms以下 | | 使用环境照度 | 受光面照度 白炽灯、太阳光：3,000lx以下 | | 环境温度 | 动作时：－10～＋55℃、 保存时：－25～＋65℃ （不结冰） | | 环境湿度 | 动作时：5～85％RH、 保存时：5～95％RH （不结露） | | 振动（耐久） | 1～500Hz 复振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次 | | 冲击（耐久） | 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次 | | 保护结构 | IEC规格 IP30 | | 连接方式 | 导线引出型(标准导线长2m) | | 质量（捆包状态） | 本体(传感器)：约43g、附件(导槽 )：约9g | | 材料 | 外壳 | 四氟乙烯共聚合物（ETFE） | | 底板 | 聚对苯二甲酸丁二醇酯 | | 附件 | 使用说明书 |
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